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电子级多晶硅材料研发工作在黄河公司启动

作者:佚名  来源:电子元器件  时间:2014/10/18 11:43:35

 9月16日,国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(即:国家02专项)电子多晶硅材料研发工作在黄河公司新能源分公司启动。

    该项目由黄河公司新能源分公司和光伏技术中心共同承担,针对40纳米集成电路用12英寸硅单晶产品进行研发。公司2500吨/年多晶硅项目是2014年工信部正式公布的109家符合《光伏制造行业规范条件》的首批企业之一,也是全国唯一一家能够生产半导体级一等品多晶硅的企业,成功填补了国内半导体应用材料的空白。

    此次黄河公司承担的40纳米集成电路用12英寸硅单晶产品对纯度和其参数有严格要求,该项目是通过精馏系统和还原炉系统生产过程中关键技术研究及工艺改进,来提高中间产品纯度,并通过完善对中间产品和氢气等关键材料的分析方法实现全过程质量控制,完成产品质量整体提升,预计2016年12月完成。项目的成功实施将打破中国40纳米集成电路用12英寸硅单晶产品完全依靠国外进口的历史。

    据悉,公司申报的国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)电子级多晶硅材料研发项目于今年5月26日由专项实施管理办公室正式批复同意,该项目将通过事后立项事后补助的方式,获得国家财政补助。

    新闻链接:02专项,即:《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目,因次序排在国家重大专项所列16个重大专项第二位,在行业内被称为“02专项”。

    重大专项是为了实现国家目标,通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程,是我国科技发展的重中之重。《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)》确定了核心电子器件、高端通用芯片及基础软件,极大规模集成电路制造技术及成套工艺,新一代宽带无线移动通信,高档数控机床与基础制造技术,大型油气田及煤层气开发,大型先进压水堆及高温气冷堆核电站,水体污染控制与治理,转基因生物新品种培育,重大新药创制,艾滋病和病毒性肝炎等重大传染病防治,大型飞机,高分辨率对地观测系统,载人航天与探月工程等16个重大专项,涉及信息、生物等战略产业领域,能源资源环境和人民健康等重大紧迫问题,以及军民两用技术和国防技术。

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